Микроинтерферометр Линника

В.П.Линник применил интерферометр Майкельсона для контроля качества обработки поверхностей. Схема микроинтерферометра Линника незначительно отличается от схемы интерферометра Майкельсона. На пути лучей 2 помещается линза L₂, играющая роль объектива микроскопа (Рис.7). Зеркало Z₂ заменяется исследуемой поверхностью. Интерференционная картина рассматривается через систему линз L₃, L₄ одновременно являющуюся окуляром микроскопа. Для удобства наблюдения направление интерферирующих лучей изменяется зеркалом Z₃. Таким образом, в микроинтерферометре Линника одновременно совмещаются интерферометр и микроскоп. В поле зрения микроинтерферометра можно на фоне исследуемой поверхности наблюдать интерференционные полосы.

Если на исследуемой поверхности имеются царапины или другие неровности, то в этом месте полосы, искривляясь, смещаются. На рис.8 даны примеры рельефа и соответствующие картины полос,

которые видны в микроинтерферометр в местах царапин. Поскольку углубление луч проходит дважды, то при глубине  разность хода интерферирующих лучей увеличивается на λ, что влечет за собой смещение на одну полосу (Рис. 8а). Точность измерений определяется возможностью заметить смещение полосы на 0,1 от расстояния между полосами и той точностью, с которой известна λ. При применении светофильтров (особенно интерференционных) или лазерного света точность измерений повышается. Кроме того, как было показано выше, при увеличении степени монохроматичности используемого света увеличивается общее число полос и становится возможным измерение глубоких неровностей.

Внешний вид прибора показан на Рис. 9. Исследуемый объект помещается на предметный столик 1. Включается источник света S. Рукоятка 2 отключает правое плечо интерферометра с зеркалом Z₁, для чего её нужно поставить в положение (↑). Вращением микрометрического винта 3 добиваются резкого изображения исследуемой поверхности. После этого поворотом рукоятки 2 в положение (→) включают правое плечо интерферометра. При этом должны появиться интерференционные полосы. Незначительным поворотом винта 3 добиваются резкого изображения интерференционных полос. При измерении глубины царапины интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно к направлению царапин.

Микроинтерферометр снабжен окулярным микрометром 4. После получения четких интерференционных полос окулярный микрометр следует повернуть так, чтобы одна из перекрещивающихся нитей была параллельна, а другая перпендикулярна интерференционным полосам. Это облегчает счёт полос и, если нужно, измерение расстояний между ними.