Параметры модели ПТУП, рассчитанные из соотношений, указанных выше с учетом уточнения: b = 8,71·10-5 А/В2; VTO = –1,21 В; l = 0,11 В-1.
Емкости в модели ПТУП и диода CP, CGD, CGS, CJD вычленяются из величины эквивалентной входной емкости ИП.
Эквивалентная входная емкость рассчитывается по формуле (35). Подставляя в нее значение A1 = 0,565 и CS1 = 9,9 пФ, получаем
.(78)
Емкость CP, описывающая емкость контактной площадки затвора, рассчитывается по формуле
,(79)
где ε0 = 8,85·10-14 Ф/см – диэлектрическая постоянная,
ε = 3,8 – диэлектрическая проницаемость окисла кремния SiO2,
S – площадь контактной площадки затвора ИМС, мкм2,
d – толщина окисла, мкм.
Подставляя эти значения в (79), получаем
.(80)
Таким образом, из формулы (27) емкость переходов ПТУП и барьерная емкость диода
.(81)
Для вычленения этих емкостей оценим соотношение площадей p-n-переходов ПТУП и диода по топологии измеряемой ИМС.
Площадь p-n-перехода затвора ПТУП Scan = 3,504·10-5 см2. Площадь p-n-перехода диода Sdiod = 5,28·10-6 см2. Соотношение площадей p-n-переходов
|
|
.(82)
Так как площади переходов затвор-исток и затвор-сток равны, то емкость диода в 6,64 раза меньше емкости переходов ПТУП
.(83)
Барьерная емкость резкого p-n-перехода зависит от приложенного к переходу напряжения по закону
,(84)
где С0 – барьерная емкость p-n-перехода при нулевом смещении;
V – приложенное напряжение;
pb – контактная разность потенциалов.
С учетом (81), (83), (84), а также напряжений на диоде и переходах ПТУП, запишем уравнение для вычисления С0
,(85)
откуда С0 = 8,934 пФ. Умножая полученное значение на соответствующий коэффициент, получаем значения барьерных емкостей при нулевом смещении для переходов ПТУП и диода: СJ0 = 1,34 пФ, СGS = 3,80 пФ, СGD = 3,80 пФ.
Рассчитанные параметры модели ПТУП и диода представлены соответственно в таблице 2.1 и 2.2.
Таблица 2.1 – Параметры модели ПТУП
BETA | VTO | LAMBDA | IS | ISR | CGD | CGS |
А/В2 | В | 1/В | А | А | Ф | Ф |
8,71·10-5 | –1,21 | 0,11 | 6,64∙10-16 | 6,64·10-14 | 3,8∙10-12 | 3,8∙10-12 |
Таблица 2.2 – Параметры модели диода
IS | ISR | CJO |
А | А | Ф |
10-16 | 10-14 | 1,34∙10-12 |