2021-11-13
72
Производство химических сенсоров с помощью фотолитографии
| © Н.А. Агейкин |
| Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 410012 Саратов, Россия e-mail: Ageykin_niki@mail.ru Аннотация Описаны методы изготовления чувствительного элемента для химического и биологического сенсоров. приведены тонкопленочная технология и мягкая фотолитография Annotation Methods of manufacturing a sensing element for chemical and biological sensors are described. thin film technology and soft photolithography are presented |
Введение
Микрообработка – это термин, используемый для обозначения методов изготовления миниатюрных структур микрометрового размера и меньше. Этот класс технологии хорошо известен в промышленности интегральных схем, а также является ценным методом при изготовлении химических сенсоров. Микротехнологии позволяют осуществлять миниатюризацию устройств, а также сборку микросенсоров с использованием уже имеющегося оборудования. Более того, эта технология позволяет осуществлять интеграцию электронных схем с сенсором, чтобы обеспечить электронный интерфейс обработки сигнала. Основным материалом в микротехнологиях является кремний; недорогие кремниевые пластины (около 259 мкм толщиной) общедоступны.
Микрообработка включает в себя ряд операций, наиболее важными из которых является нанесения рисунка, осаждение или наращивание пленок и травление. Толщина структуры, полученной микрообработкой, лежит в микрометровом диапазоне [1].
Цель работы состоит в изучение и сравнении методов изготовления чувствительного элемента способами: 1) фотолитографии, 2) мягкой фотолитографии и 3) плазмо - химического газового осаждение для химических сенсоров.
