2021-11-13
49
Заключение
Выбор метода изготовления чувствительного элемента с помощью фотолитографии зависит от следующего. Во-первых, способ изготовления должен быть совместим с рецептором. Во-вторых, должна обеспечиваться сохранность его активности столько времени, насколько это возможно. В-третьих, плотность рецепторов в чувствительном слое.
Conclusion
The choice of the method of manufacturing the sensing element using photolithography depends on the following. First, the manufacturing method must be compatible with the receptor. Secondly, its activity should be maintained for as long as possible. Third, the density of receptors in the sensitive layer.
Список литературы
1. Ф.-Г. Баника. Мир радиоэлетроники (Техносфера, Москва, 2014 г.) с. 172-175
2.http://studbooks.net/1702031/tovarovedenie/oborudovanie_termicheskogo_okisleniya
3.http://www.ngpedia.ru/id207462p1.html
