Глубина зондирования

Аналитические возможности рентгенофлуоресцентных методов

Данные методы используются для определения элементного состава, поскольку величины энергий рентгеновских квантов химическим сдвигам практически не подвержены. В зависимости от электроотрицательности окружения атомов исследуемых элементов их энергетические уровни сдвигаются синхронно и разность по энергии остается неизменной.

В случае электронного микрозонда информация собирается с небольшой глубины, т.е. интегрируется по области генерации рентгеновского излучения в каскадах столкновения зондирующих электронов, т.е. пока электроны имеют достаточную энергию, чтобы создавать электронные вакансии у встречных атомов, их торможение сопровождается генерацией рентгеновского излучения. Глубина зондирования определяется следующим эмпирическим соотношением:

Чтобы наблюдать К-серию, требуется существенно большая энергия, чем для L-серии, поэтому глубина зондирования для К-серии большая, чем для L-серии.

Таким образом, электронный микрозонд является не вполне поверхностным методом, и если мы рассматриваем частицы на поверхности, то мы видим сигнал как от этих частиц, так и от подложки.