Магниторазрядные вакуумметры

Принцип действия магниторазрядных вакуумметров основан на зависимости тока самостоятельного разряда от давления газа, который возникает в разреженном газе в скрещенных магнитном и электрическом полях. С использованием таких вакуумметров можно измерять сверхвысокий вакуум (до 10^-14 тор). Электродная система прибора состоит из катода и анода, как показано на Рис. 9.

Рис. 9. Схема магниторазрядных манометров: а-манометр Пеннинга; б-магнетронный; 1-катод; 2-анод.

Торцы системы закрыты дисками, соединенными с катодом для предотвращения выхода заряженных частиц в осевом направлении. На анод подается напряжение, равное нескольким киловольтам, катод соединяется с усилителями постоянного тока и находится под нулевым потенциалом. Электроды помещаются в осевое магнитное поле. В результате действия электрических и магнитных сил образующиеся свободные электроны движутся по замкнутым траекториям в пространстве между катодом и анодом, попадая на анод только вследствие столкновения с молекулами газа. Образовавшиеся при столкновениях ионы, траектории которых слабо искривляются магнитным полем, движутся к аноду, а электроны в свою очередь начинают вращаться в пространстве катод - анод, вызывая ионизацию; возникает газовый разряд. По величине разрядного тока можно судить о разрежении.

Магниторазрядные вакуумметры, в отличие от ионизационных, не имеют накаливаемого катода и обладают большей чувствительностью. Недостатки: медленное возникновение самостоятельного газового разряда при низких давлениях, необходимость очистки электродов при работе прибора в вакуумных установках, которые содержат пары масел. Ионизационные и магниторазрядные вакуумметры часто подключают к одной вакуумной системе, что позволяет последовательно включать в работу тот или иной прибор и управлять процессом откачки системы. Погрешность магниторазрядных вакуумметров составляет 60% и более.