2014-02-09
2952
Дальнейшим развитием методов ионной откачки явился магниторазрядный насос, схема которого приведена на Рис. 6.
Рис. 6. Схема магниторазрядного насоса.
В магниторазрядных насосах рабочим элементом является газоразрядная ячейка — ячейка Пеннинга, состоящая из «ячеистого» анода, расположенного между катодными пластинами, покрытыми титаном. Ячейка помещена в магнитное поле напряженностью 900—3000 Гс, перпендикулярное плоскости катодов. При подаче на электроды высокого напряжения (от 3 до 7 кВ) между ними зажигается разряд, электроны движутся по сложным спиралям, что увеличивает вероятность ионизации в высоком вакууме. Ускоренные электрическим полем ионы бомбардируют катоды, вызывая катодное распыление, при этом часть ионов внедряется в катоды, а часть — нейтрализуется и, обладая достаточной энергией, отражается от поверхности катода, попадает на анод и «замуровывается» распыляемым материалом катодов. Активные газы откачиваются сорбционным и ионным способами, инертные — ионным, причём часть их «замуровывается» на аноде. Величина разрядного тока в этих насосах пропорциональна давлению газа, скорость откачки зависит от числа ячеек, при этом каждую ячейку можно рас сматривать как самостоятельный насос со скоростью откачки от 0,25 до 1 л/с.
