Компоненты. Просвечивающий электронный микроскоп

Просвечивающий электронный микроскоп

Основные мировые производители электронных микроскопов

Промышленность

Научные исследования

Сферы применения электронных микроскопов

Виды электронных микроскопов

1. Просвечивающий электронный микроскоп

2. Растровый электронный микроскоп

3. Растровый просвечивающий электронный микроскоп

4. Растровый туннельный микроскоп

История создания электронного микроскопа

1. Полупроводники и хранение данных

· Редактирование схем

· Метрология 3D

· Анализ дефектов

· Анализ неисправностей

2. Биология и биологические науки

· Криобиология

· Локализация белков

· Электронная томография

· Клеточная томография

· Крио-электронная микроскопия

· Токсикология

· Биологическое производство и мониторинг загрузки вирусов

· Анализ частиц

· Фармацевтический контроль качества

· 3D изображения тканей

· Вирусология

· Стеклование

· Квалификация материалов

· Подготовка материалов и образцов

· Создание нанопрототипов

· Нанометрология

· Тестирование и снятие характеристик устройств

· Исследования микроструктуры металлов

· Создание изображений высокого разрешения

· Снятие микрохарактеристик 2D и 3D

· Макрообразцы для нанометрической метрологии

· Обнаружение и снятие параметров частиц

· Конструирование прямого пучка

· Эксперименты с динамическими материалами

· Подготовка образцов

· Судебная экспертиза

· Добыча и анализ полезных ископаемых

· Химия/Нефтехимия

· Carl Zeiss NTS GmbH — Германия

· Delong Group

· FEI Company — США (слилась с Philips Electron Optics)

· FOCUS GmbH — Германия

· Hitachi — Япония

· JEOL — Япония (Japan Electron Optics Laboratory)

· KYKY — Китай

· Nion Company — США

· Tescan — Чехия

· ОАО «SELMI» — Украина

Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) — это установка, в которой изображение от ультратонкого объекта (толщиной порядка 0,1 мкм) формируется в результате взаимодействия пучка электронов с веществом образца с последующим увеличением магнитными линзами (объектив) и регистрацией на флуоресцентном экране. Для регистрации изображения возможно использование сенсоров, например, ПЗС-матрицы.

ПЭМ состоит из нескольких компонентов:

— вакуумная система;

— источник электронов (электронный прожектор, электронная пушка) для генерирования электронного потока;

— источник высокого напряжения для ускорения электронов;

— набор электромагнитных линз и электростатических пластин для управления и контроля электронного луча;

— экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение.