Примеси замещения и примеси внедрения

Если атом примеси попадает в узел кристаллической решетки и замещает в этом узле атом основного элемента, то такие примеси называются примесями замещения.

Если атом примеси попадает в междоузлие кристаллической решетки, то такие примеси называются примесями внедрения.

В качестве примесей могут быть не только чужеродные атомы примесей, но также избыточные по стехиометрическому составу атомы исходного элемента, а также различные сдвиги, дислокации, микротрещины в кристаллической решетке.