Оборудование для диффузии и окисления

Однозонная трехканальная термическая установка 02 ДОМ-75-001 предназначенадля выполнения термических процессов диффузии и окисления в газовом потоке открытого рабочего канала на полупроводниковых пластинах и состоит из четырех частей: электропечи, устройства газораспределения, камеры загрузки-выгрузки и измерительного стенда. Камера загрузки-выгрузки и измерительный стенд являются отдельными изделиями и поставляются по желанию заказчика.