Термическое оборудование

Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоёв

Эпитаксия – процесс ориентированного наращивания, в результате которого образующаяся фаза закономерно продолжает кристаллическую решетку имеющейся фазы – подложки с образованием переходного эпитаксиального слоя. Установка наращивания содержит в своей конструкции следующие элементы: реактор, газовую систему, систему нагрева, систему управления процессом и вспомогательные устройства. Реакторы изготавливают из кварцевого стекла, коррозионно-стойкой стали, хромоникелевых сплавов. Реакторы установок эпитаксиального наращивания можно разделить на два типа: горизонтальный и вертикальный.