Сборочное оборудование

2. Для второго способа характерно оборудование ЭМ-2005, ЭМ-2055, ЭМ-2075 позволяет разрезать пластины с многослойными покрытиями и получать кристаллы больших размеров с высокой точностью, ровными перпендикулярными торцами, облегчающими автоматическую сборку.

Эластичная прокладка позволяет уменьшить вибрацию от шпинделя к алмазному кругу. Стойкость круга 22000 операций для пластины диаметром 100 мм.

Система управления на базе микропроцессоров К580ИК80, м/с серии К589 позволяет гибко управлять приводами, программировать темпы реза, рассчитывать оптимальные варианты отхода контура крупных пластин различных диаметров, автоматический вывод круга на рабочий режим.

3. Для третьего способа характерна установка ЭМ-220 (диаметр 150мм)

Лазер ЛТИ-502 (на АИГ) с непрерывной накачкой от плазменно-дуговой криптоновой лампы.

Мощность лазера 16Вт, λс=1,06 мкм. Частоты повторения импульсов 5-50 кГц, длительность излучения 250 нс, высокая пиковая мощность.

Установка разделения пластин алмазными кругами. Метод разделения пластин алмазными отрезными кругами имеет ряд преимуществ по сравнению со скрайбированием. Он позволяет разрезать пластины с многослойными по­крытиями и получать кристаллы больших размеров с высокой точностью, минимальным количеством сколов и ровными, перпен­дикулярными торцами, облегчающими автоматическую сборку. С помощью отрезных кругов можно разделять пластины из мате­риалов, не поддающихся скрайбированию, например из сапфира, а также пластины больших размеров и соответственно большой (до 0,8... 1 мм) толщины.

На рисунке ниже а, показаны компоновка и основные узлы установ­ки резки алмазными кругами модели 04ПП100М. Установка со­держит корпус 1, шпиндельный узел 2, каретки продольной 8 и поперечной 3 подач, вакуумный стол 7 с насадкой б, узел совме­щения 4 и систему 5 подачи смазывающе-охлаждающей жидкости (СОЖ). На валу 14 шпинделя 9 (рисунок ниже,б) закреплен алмазный круг 15. Шпиндель 9 закреплен на каретке поперечной подачи 3, связанной с электродвигателем через ходовой винт 12 и гайку 10. Каретка перемещается по цилиндрическим направляющим 16. Для уменьшения трения в направляющих во втулках 17 каретки выполнены каналы, по которым в зазор между втулками и на­правляющими подается сжатый воздух. Он не только создает между ними воздушную прослойку, но» препятствует попаданию в направляющие продуктов резания. Каретки продольных переме­щений 8 (рисунок ниже а) имеют аналогичные направляющие.

Перемещения кареток осуществляются приводами от шаговых электродвигателей, что обеспечивает широкий диапазон измене­ния подачи. Движение каретке продольной подачи передается от электродвигателя эластичным зубчатым ремнем.

Для повышения точности размеров получаемых кристаллов в установке применен узел коррекции поперечного перемещения шпинделя (рисунок ниже,в). Узел включает коррекционную линейку 11 (рисунок ниже,б), Г-образный и прямой рычаги 18 и 21, на концах ко­торых закреплены ролики 19, 20, притянутые к линейке пружи­ной 22. В случае, если систематическая ошибка ходового винта 12 превышает допустимое значение, линейку 11 поворачивают вокруг оси 13 (рисунок ниже,б), создавая необходимый доворот гайке 10 по отношению к винту 12.

Перед началом работы узел совмещения 4 (рисунок ниже,а) настраи­вают относительно линии отрезки, для чего на вакуумном столи­ке 7 закрепляют пробную пластину и нарезают ее.

Установка резки алмазными кругами: