Пьезосорбционные датчики

Пьезокварцевые резонаторы позволяют регистрировать величины сорбции 10^-12 – 10^-9 г/см². В датчиках при сорбции влаги изменяется масса сорбента, нанесенного на поверхность пьезокварцевого резонатора, что изменяет частоту его колебаний. Чувствительность датчика определяется сорбционной активностью сорбента, толщина которого составляет 1 – 2 мкм.

В качестве сорбента используются гигроскопические соли лития и кальция: LiCl, LiBr, CaCl₂ ; Р₂О₅; пленки пористого стекла; фториды кальции, магния, натрия, бария; органические полимерные материалы. Диапазон измерения влажности составляет от 0 до 2000 ppm, порог чувствительности может достигать 0,02 ppm. При помещении сорбционного датчика из среды с высокой влажностью в более сухую среду для повышения быстродействия датчика используют принудительную десорбцию влаги путем обдува осушенным газом или за счет повышения температуры.