2015-03-22
630
Блок – схема вакуумного поста для получения высокого вакуума представлена на рисунке 3.
|
| Рисунок 3 - Блок-схема вакуумного поста: 1- форвакуумный роторный насос; 2 – диффузионный паромасляный насос; 3 – электрическая печь диффузионного насоса мощностью 400 – 600 Вт; 4 - азотная ловушка; 5 – высоковакуумный клапан; 6 -откачиваемый объем; 7 манометр предварительного разрежения; 8 – манометр высокого вакуума |
Насос предварительного разрежения 1 (форвакуумный насос) соединяют с выходом пароструйного диффузионного насоса 2, откачивающего воздух из сосуда 6. Непосредственное подключение диффузионного пароструйного насоса 2 к откачиваемому объему 6 проводится с помощью высоковакуумного клапана 5. Манометры 7 и 8 используются для контроля вакуума в системе предварительного и высокого вакуума. Азотная ловушка 4 позволяет уменьшить давление в системе высокого вакуума примерно на порядок.
