2015-03-08
800
К/К0
Скорость роста, мм/мин Скорость роста, мм/мин
Рис. 6. Скоростная зависимость эффективного коэффициента распределения примесей при выращивании монокристаллов германия методами: Чохральского (скорость вращения затравки 30-40 и тигля 5-10 об/мин) и зонного выравнивания:
а - галлий k0=8,7.10-2 г – мышьяк k0=2.10-2
б – фосфор k0=8.10-2 д – сурьма k0=3.10-2
в – индий k0=1.10-3
Таблица
Варианты заданий
| № варианта | Данные лигатуры | Данные кристалла | Метод выращивания | |||
| Тип | rлиг, Ом.см | uкр, мм/мин | rкр, Ом.см | Мр, г | ||
| Ga Ga Ga Ga Ga Sb Sb Sb Sb Sb Sb Sb As As As P P P P P | 1* 10-3 1 *10-3 2 *10-3 3 *10-3 3 *10-3 2 *10-4 2 *10-4 1 *10-2 3 *10-3 3 *10-3 2 *10-3 2 *10-3 2 *10-4 6 *10-4 5 *10-4 1 *10-2 6 *10-3 3 *10-3 2 *10-3 2 *10-3 | 1.5 1.5 2.0 2.5 1.5 1.5 2.0 2.0 2.5 2.5 1.5 2.0 1.5 2.5 0.5 1.0 1.5 2.0 | 0.5 0.04 0.05 0.01 0.03 | Чохр. Чохр. З. В. З. В. З. В. Чохр. Чохр. З. В. З. В. Чохр. З. В. З. В. З. В. Чохр. З. В. З. В. З. В. Чохр. Чохр. Чохр. |
