2015-04-01
845
Пластины и диффузант помещаются в кварцевую трубу. Пластины находятся в высокой температурной зоне, а диффузант в низкой.
После установления температурного режима пластины помещают в рабочую зону. Испаряющиеся молекулы примесей перемещаются газоносителем в пластине.
Диффузия в потоке газа-носителя из жидкостного источника.
