Материал подложек

В качестве подложек используют: керамику из ВеО и из Al₂ Оз, стеклокерамику, кварцевое стекло, алюмосиликатное и боросиликатное стекло, щелочное стекло.

К подложке предъявляются следующие требования:

• незначительная стоимость;

• незначительная шероховатость;

• хорошая адгезия;

• достаточна механическая прочность и устойчивость к воздействию температуры и влажности;

• высокая теплопроводность;

• соразмерность ТКЛР материалов подложки и осажденной пленки;

Особое значение имеет шероховатость подложки, так как свойства плёнок в значительной мере зависят от высоты неровностей подложки, которые должны быть в пределах от 0,01 до 1 мкм и не превышать толщины плёнок. Наилучшую чистоту поверхности имеет стекло огненной полировки (0,006 мкм), хотя его теплопроводность в 15-150 раз меньше теплопроводности керамических подложек.