Зависимость скорости травления от параметров процесса

На скорость травления в разряде галогенсодержащих газов суще­ственное влияние оказывают следующие факторы, зависящие от тех­нологических параметров процесса и конструктивных особенностей оборудования:

· подводимая мощность; -давление в реакционной камере;

· состав реакционных газов;

· температура обрабатываемой поверхности;

· условия подвода травящих агентов и упругость паров летучих продуктов реакции;

· физико-химические свойства материалов;

· способ возбуждения и поддержания разряда в разрядной камере;

· площадь обрабатываемых пластин;

· геометрические размеры разрядной камеры и ее конструктивные особенности.

·

Наиболее значимыми из перечисленных факторов, определяющих скорость процесса плазмохимического травления, являются: состав плазмообразующего газа, рабочее давление, мощность разряда