Раздел 2. Экспериментальную часть

Объекты исследования: фотошаблон для проекционных фотолитографий размером 127х127 мм.

Методы исследования: оптическая микроскопия.

На оптическом микроскопе Olympus BX51 при 50x увеличении было проведено исследование поверхности образца с целью выявить минимальный размер одного из его объектов. В процессе наблюдения были видны дефекты рисунка: сорванная металлизация, а также обнаружен объект, деталь рисунка которого имела размер 40,74 мм.

Раздел 3. Заключение

Вывод: Минимальный размер объектов на фотошаблоне контролировали. Фотошаблон для фотолитографии обладает некой дефектностью в виде сорванной металлизации.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ:

1. http://mipt.ru/upload/medialibrary/53a/Lab_lithography.pdf