2015-05-13
355
355-2010
к лабораторным работам №1-3
«Исследование физических свойств
твердых тел»
по дисциплинам «Физические основы микроэлектроники» и «Физико-технологические основы микро- и наноэлектроники» для студентов специальностей 210201
«Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и 210302 «Радиотехника»
очной и заочной форм обучения
Воронеж 2010
Составители: д-р физ-мат. наук Ю.С. Балашов,
канд. физ.-мат. наук А.С. Бадаев
УДК 539.2.21.(07)
Методические указания к лабораторным работам № 1-3 «Исследование физических свойств твердых тел» по дисциплинам «Физические основы микроэлектроники» и «Физико-технологические основы микро- и наноэлектроники» для студентов специальностей 210201 «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и 210302 «Радиотехника» очной и заочной форм обучения / ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»; сост. Ю.С. Балашов, А.С. Бадаев. Воронеж, 2010. 62 с.
В методических указаниях изучаются и экспериментально исследуются тепловое расширение и распространение ультразвуковых волн в твердых телах, процессы роста и размерные эффекты в тонких пленках. Тематика лабораторных работ соответствует рабочим программам дисциплин «Физические основы микроэлектроники» и «Физико-технологические основы микро- и наноэлектроники»
Методические указания предназначены для студентов 1-3, 5 курсов очной и заочной форм обучения.
Табл 2. Ил. 14. Библиогр.: 6 назв.
Рецензент д-р физ.-мат. наук, проф. В.И. Митрохин
Ответственный за выпуск зав. кафедрой д-р физ.-мат. наук, проф. Ю.С. Балашов
Печатается по решению редакционно-издательского совета Воронежского государственного технического университета
© ГОУ ВПО «Воронежский
государственный технический
университет», 2010
