Рисунок Б.2 – Пьезорезистивная инерциальная микросистема для измерения малых ускорений
Таблица Б.2 Технические характеристики пьезорезистивной инерциальной микросистемы для измерения малых ускорений
Диапазон измерения ускорений, g
2-10
Размеры кристалла микросистемы, мм
8,0x2,5x0,44
Вес кремниевой инерционной массы, мг
2
Характерные размеры кремниевых балок, мкм
600x20x10
Чувствительность при напряжении питания 9 В, мВ/g
1,9
Резонансная частота микросистемы, Гц
1200
Рабочий диапазон частот, Гц
от 0 до 400
Рисунок Б.3 – Термоанемометрическая микросистема для контроля состояния газовой среды (стрелка слева указывает на технологическую воздушная полость, а стрелка справа – на чувствительные резистивные элементы на тонких вывешенных диэлектрических перемычках, толщиной около 1 мкм).
Таблица Б.3 Технические характеристики термоанемометрической микросистемы для контроля состояния газовой среды