Улучшение измерения наноразмеров является важной задачей в условиях введения стандартов и улучшения технических характеристик в полупроводниковой индустрии и нанотехнологии. Новый принцип работы микроскопа подразумевает использование атомов гелия для генерирования сигнала, используемого на очень малых объектах. Это технический аналог сканирующего электронного микроскопа, впервые внедренного в использование в 1960-х годах. Парадоксально, что хотя атомы гелия объемнее электронов, они могут обеспечить большее разрешение и больший контраст изображений. Глубина резкости пространственного изображения также гораздо лучше при использовании этой новой технологии, и таким образом большая часть изображения находится в фокусе. Атомы имеют больший размер и более короткую длину волны, чем электрон, и именно поэтому они обеспечивают лучшее изображение. Картинка предстает уже трехмерной, выявляя детали меньшие, чем нанометр. Изображение атомов, полученное современным сканирующим электронным микроскопом имеет сравнительно слабую глубину резкости – только часть картинки находится в фокусе. В противоположность этому, гелиевый ионный микроскоп дает цельное изображение, четкое и ясное. Исследователи изучают возможности гелиевого ионного микроскопа в области наноизмерений, которые очень важны в области полупроводниковой индустрии и нанотехнологий. Явное преимущество гелиевого ионного микроскопа – в том, что он отображает реальные границы, края образца гораздо лучше, чем сканирующий электронный микроскоп, который весьма чувствителен к ручным настройкам параметров. Полупроводниковые предприятия имеют многомиллионные сканирующие электронные микроскопы для обработки и контроля процессов производства микрочипов. Комбинация требования низких вибраций и наноизмерений приводит к некой размытости рисунка, как если бы был изображен движущийся предмет.
|
5917
5754
