Изобразите зависимость скорости травления от расхода газа. Объясните ее

Контроль протока газа су­щественен при исследовании химических реакций, так как позволяет получить кинетические кривые, характеризующие зависимость концентраций компонентов плазмы от времени начала химической реакции (входа исследуемого газа в плазму) или конца воздействия разряда (после выхода газа из его зоны). При попадании молекул газа в плазму в момент времени t = 0 диссоциация начинается не сразу, а лишь спустя некоторое время, необходимое для возбуждения молекул. Коэффициент скорости диссоциации монотонно увеличивается до тех пор, пока не достигнет квазистационарной величины, соответствующей функции распределения молекул по уровням внутреннего возбуждения. После достижения квазистационарных значений может наблюдаться медленный спад коэффициента скорости, что объясняется уменьшением концентрации молекул вследствие диссоциации при увеличении времени контакта молекул с плазмой. Время пребывания газа в плазме может быть оценено по формуле:


Понравилась статья? Добавь ее в закладку (CTRL+D) и не забудь поделиться с друзьями:  



double arrow
Сейчас читают про: