Изобразите зависимость скорости травления от давления. Объясните ее

Установлено, что для каждого газа имеется такое давление p_max, при котором скорость травления материала максимальна и не зависит от его природы.

Допуская энергетическое распределение электронов близким к максвелловскому и учитывая, что число возбуждений в плазме про­порционально числу быстрых электронов n_e ^', можно описать приве­денную зависимость уравнением:

Сни­жение скорости травления на этом участке графика объясняется уменьшением общей концентрации молекул и электронов с понижением давления. При дальнейшем повышении давления за пределы Р_mах ско­рость травления падает, так как → 0, что обусловлено снижением электронной температуры.

Электронная температура снижается с рос­том р, так как уменьшается средняя длина свободного пробега элек­тронов λ_е. В результате электроны при многократных столкновени­ях не успевают накопить большую энергию и средняя электронная энергия падает с повышением давления.