На рисунке 10 приведена схема традиционного диодного реактора. Противоположные электроды возбуждают плазму обычно в диапазоне радио частот со средней мощностью разряда порядка единиц киловатт.
Рисунок 10. Схема диодного реактора ионного травления:
1 – заземленный электрод, 2 – ВЧ – электрод, 3 – ВЧ – генератор, 4 – ВЧ – плазма, 5 - подложка, 6 – высоковакуумная откачка, 7 – газоввод.
Стадии протекания процесса плазменного травления.
В общем случае механизм ПТ можно представить следующим образом:
1. доставка молекул газа в зону разряда;
2. превращение молекул газа в ионы и ХАЧ под воздействием электронного удара;
3. доставка ионов и ХАЧ к поверхности материала, подвергаемого травлению;
4. адсорбция ионов и ХАЧ на поверхности материала;
5. химические реакции ХАЧ и физическое взаимодействие ионов с поверхностными атомами и молекулами;
6. десорбция продуктов реакции с поверхности материала;
7. отвод продуктов реакции из реактора.