Рис. 10.9 Тензорезистр |
Тензорезистивный преобразователь представляет собой проводник, изменяющий своё сопротивление при деформации сжатия-растяжения. При деформации проводника изменяется его длина l, площадь поперечного сечения S, деформация кристаллической решетки приводит к изменению удельного сопротивления ρ: .
В качестве тензорезистивных преобразователей используется проводниковые и полупроводниковые материалы.
К первым относятся: фольговые, пленочные и проволочные тензорезисторы. Полупроводниковые тензорезисторы изготавливаются из кремния или германия. Свойства полупроводниковых и металлических преобразователей сильно различаются. Чувствительность полупроводниковых преобразователей может быть как положительной, так и отрицательной.
Тензорезисторы могут использоваться:
– либо для измерения механических напряжений и деформаций, тогда они включаются, как и резистивные преобразователи, в мостовую цепь по дифференциальной схеме 1-го типа;
– либо для измерения других механических величин: сил, давлений, ускорений и т.д., когда деформация является промежуточной величиной преобразования. В этом случае используется мостовая цепь по дифференциальной схеме 2-го типа.
|
|
Рис. 10.10 Мостовая схема включения тензорезисторов |
В тензорезисторных приборах высокой точности используют схемы с нормирующими (компенсационными) резисторами (рис. 10.10).
R 1, R 4 – тензорезисторы воспринимают информацию.
R B – резисторы для балансировки моста.
R T – термозависимые резисторы, для компенсации аддитивной температурной погрешности.
R4, R’ 4 – резисторы, изменяя сопротивление которых можно регулировать чувствительность датчика.
R Т2, R’ T2 – термозависимые резисторы, с помощью которых компенсируются температурные изменение чувствительности.
R ш, R вых – служит для регулировки входных или выходных сопротивлений моста.
Выходное напряжение терморезистивного моста не превышает 10-20 мВ, поэтому для дальнейшего преобразования выходной величины U вых используются усилители.
Достоинство:
+ высокая чувствительность S=50–130;
+ в мостовой схеме включения компенсируется аддитивная погрешность.
Недостатки:
– зависимость сопротивления и чувствительности от температуры;
– большой разброс параметров с характеристик.