Лекция №3. Герметичность вакуумной системы – свойство элементов вакуумной систем и их соединений обеспечивать настолько малое проникновение газа через них

Герметичность вакуумной системы – свойство элементов вакуумной систем и их соединений обеспечивать настолько малое проникновение газа через них, чтобы им можно было пренебречь в рабочих условиях.

Вакуумная система – совокупность устройств для создания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также сосудов и связывающих их трубопроводов.

Элемент вакуумной системы – прибор, сборочная единица или деталь, предназначенная для выполнения определенных функций в вакуумной системе.

Вакуумная установка – установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие (например, электродвигатели, аккумуляторы, печи).

Вакуумный агрегат – вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое.

Откачиваемый сосуд – сосуд, в котором создается вакуум.

Откачиваемая камера – откачиваемый сосуд, в котором создается вакуум, необходимый для различных технологических процессов.

Предохранительный баллон – сосуд, предназначенный для предохранения элементов вакуумной системы от попадания в них посторонних тел.

Вакуумный клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекращать поток газа в вакуумной системе.

Вакуумный затвор – вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы.

Вакуумный кран – вакуумный клапан, изменение проводимости в котором осуществляется поворотом вокруг оси детали конической или цилиндрической формы с одним или несколькими проходами.

Натекатель – вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа.

Напускной клапан – вакуумный клапан, предназначенный для пуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.

Ловушка – устройство для улавливания паров или газов, применяемое с целью предотвращения их проникновения из одной части вакуумной системы в другую или снижения их парциального давления.

Конденсационная ловушка – ловушка, улавливающее действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях. В зависимости от места расположения в вакуумной системе различают ловушки конденсационные форвакуумные и ловушки конденсационные высоковакуумные.

Сорбционная ловушка – ловушка, улавливающее действие которой основано на сорбции паров и газов на поверхности сорбента.