Термины и определения вакуумной техники

Полный перечень терминов и определений вакуумной техники представлен в следующих нормативных документах: ГОСТ 5197-70, ГОСТ 24054-80, ОСТ 11066.001-73), ОСТ11293.031-81.

Ниже приведены основные термины и определения.

Предельное остаточное давление – наименьшее давление, которое может быть достигнуто в определенных условиях конкретными устройствами для откачки.

Откачка – уменьшение молекулярной концентрации газа с помощью устройств, удаляющих или поглощающих газ.

Форвакуум – вакуум, создаваемый насосом, более низкого вакуума при последовательной работе нескольких насосов.

Натекание – проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд.

Газовыделение – выделение газа из материала в вакуум.

Остаточный газ – газ, оставшийся в вакуумной системе после откачки.

Молекулярное течение – течение газа, при котором средняя длина свободного пути молекул больше или сравнима с минимальными размерами элемента вакуумной системы.

Вязкостное течение – ламинарное течение, в котором определяющее значение имеют вязкостные силы.

Обратный поток паров рабочей жидкости – перемещение паров рабочей жидкости в направлении, обратном направлению откачки.

Нормальное состояние газа – состояние газа при нормальных условиях: давление 101325Па (760мм рт. ст.) и температуре 273К (0⁰С).

Коэффициент захвата – отношение числа молекул, захваченных поверхностью к общему числу молекул, попадающих на эту поверхность.

Коэффициент аккомодации – отношение энергии, действительно полученной молекулами газа от твердого тела, к энергии, которую они получили бы при ударе, если бы при ударе установилось температурное равновесие между твердым телом и отраженными от него молекулами.