Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Национальный исследовательский университет
Учебно-научный и инновационный комплекс
«Новые многофункциональные материалы и нанотехнологии»
Исследовательской школа «Нанотехнологии и наноматериалы»
Основная профессиональная образовательная программа аспирантуры
01.04.07 Физика конденсированного состояния
Основные профессиональные образовательные программы магистратуры и бакалавриата
222900 – нанотехнологии и микросистемная техника, 210100 – электроника и наноэлектроника
Название дисциплины Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем
А.И. Бобров, А.В. Пирогов, Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов
УСТРОЙСТВО И ПРИНЦИП РАБОТЫ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА ВЫСОКОГО РАЗРЕШНИЯ
Электронное учебно-методическое пособие
под редакцией профессора Д.А. Павлова
Мероприятие 3.1: Развитие системы поддержки ведущих научно-педагогических коллективов, молодых ученых, преподавателей и специалистов
|
|
Нижний Новгород
УСТРОЙСТВО И ПРИНЦИП РАБОТЫ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА
А.И. Бобров, А.В. Пирогов, Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов Электронное учебно-методическое пособие / под редакцией Павлова Д.А. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2012. – 31 с.
В пособии описаны устройство и принцип работы просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). Представлены режимы работы ПЭМ, а также дана базовая информация об особенностях подготовки образцов для ПЭМ.
Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям «210100 – электроника и наноэлектроника» и 222900 – нанотехнологии и микросистемная техника а также для аспирантов обучающихся по специальности 01.04.07 – физика конденсированного состояния.
Оглавление
Введение. 4
1. Составные части просвечивающего электронного микроскопа. 5
1.1. Электронная пушка. 7
1.1.1 Пушка с термоэлектронной эмиссией. 9
1.1.2. Пушка с полевой эмиссией. 10
1.2. Высоковолътный генератор и ускоритель. 12
1.4. Держатели образцов. 16
1.5 Принцип действия электронной линзы.. 18
1.6. Объективная линза. 19
2. Режимы увеличения и дифракции просвечивающего электронного микроскопа. 22
2.1. Амплитудный контраст. 22
2.3. Геометрия формирования увеличенного изображения и дифракционной картины. 23
3. Препарирование образцов для ПЭМ.. 27
4. Задания по работе. 30
Список литературы.. 31
Введение
Разработка материалов, применяемых в технологиях XXI века, требует подробного знания об их структуре вплоть до нанометрового масштаба. Просвечивающая электронная микроскопия на сегодняшний день является наиболее мощным и информативным инструментом для реализации соответствующих исследований, что обусловлено высочайшим пространственным разрешением (~0,1 нм) при наблюдении изображений и возможностью проведения локального структурного анализа с точностью позиционирования вплоть до единиц нанометров. Это определяет наличие потребности как в подготовке квалифицированных специалистов в соответствующей области, так и в передаче общих знаний и понятий широкому кругу студентов и научных сотрудников, использующих в своей исследовательской деятельности результаты просвечивающей электронной микроскопии.
|
|
В представленной лабораторной работе рассматриваются принципиальное строение просвечивающего электронного микроскопа и базовые основы его эксплуатации. Практическая часть работы выполняется на японском микроскопе JEM-2100F компании JEOL.