2015-05-13
462
1. Иевлев В.М. Рост и субструктура конденсированных плёнок: учеб.пособие / В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов. – Воронеж: ВГТУ, 2000. – 386с.
2. Балашов Ю.С. Технологические операции в производстве РЭС: учеб. Пособие / Ю.С. Балашов, А.С. Бадаев, В.П. Иевлев. – Воронеж: ВГТУ, 2006. – 147с.
3. Ефимов И.Е. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надёжность: учеб. пособие / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Высш.шк., 1986. – 464с.
СОДЕРЖАНИЕ
Лабораторная работа №1. Исследование теплового расширения твердых тел и термических напряжений в спаях металл-стекло ………………………………………………………1
Лабораторная работа №2. Исследование распространения ультразвуковых волн в твёрдых телах………………..……….23
Лабораторная работа №3. Исследование размерного эффекта в тонких плёнках……….………………………………..42
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
к лабораторным работам №4-6
«Исследование физических свойств
твердых тел»
по дисциплинам «Физические основы микроэлектроники» и «Физико-технологические основы микро- и наноэлектроники» для студентов специальностей 210201
«Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и 210302 «Радиотехника»
очной и заочной форм обучения
Составители:
Балашов Юрий Степанович
Бадаев Андрей Станиславович
В авторской редакции
Компьютерный набор О.П.Козыревской
Подписано в печать 2010.
Формат 60×84/16. Бумага для множительных аппаратов.
Усл. печ. л.. Уч.-изд. л.. Тираж 50 экз.
"С". Заказ №
ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский проспект., 14
