Билет 25. Как Вы понимаете термин «кластерное оборудование»

Как Вы понимаете термин «кластерное оборудование»

Замкнутое, вакуумное, для производства

Примеры практической реализации

Линия «Основа» (80-е года)

Х1

Аналог 1х1 - Центр микроэлектроники МО США (DMEA)

DMEA планировка

Универсальный комплекс средств технологического оснащения

Для производства электронной компонентной базы двойного назначения

УНИТЕК

Основные тактико-технические характеристики комплекса

1. Технологический уровень 0,05 мкм
2. Диаметр пластин 50-300 мм
3. Производительность 5 пластин/час
4. Занимаемая площадь 50 кв. м.
5. Численность персонала:

-эксплуатационный 4-5 чел/смена

-оперативный 1 чел/смена

1. Энергопотребление 0,6 МВт
2. Водопотребление 0,1 куб. м/час

(полностью замкнутый контур)

1. Класс чистоты

Производственного 1000

Помещения

1. Базовая стоимость 15 млн. долларов