2015-05-30
326
- Гибкая настройка для перехода к изготовлению различных типов ЭКБ
за счет интеграции производства исходных структур в общий технологический цикл изготовления продукции и применения межоперационной очистки камер (для реализации большого числа процессов в минимальном количестве камер) - Стабильность производственных условий для выпуска продукции
n Полностью исключается прямой контакт оператора с продукцией на всех стадиях производства
n На всех стадиях производства изделие находится либо в вакууме, либо в атмосфере нейтрального газа, не связанной с окружающей средой
n Очистка камер после каждой операции
3. Дистанционные e -диагностика и обслуживание
