Рентгеноспектральный метод – с помощью электронного луча возбуждается характеристическое рентгеновское излучение в малом обьеме на малой площади. Анализируемый участок – 1-10 мкм. Состав включения можно определить если на включение направить электронный луч и зарегистрировать характеристический рентгеновский спектр атомов элементов.
Рентгеновский микроанализатор (микрозонд):
1.электронная пушка – 2.электромагнитные линзы и микроскоп – 3.образец – 4.рентгеновское излучение – 5. спектрометры – 6. определяют вид и концентрацию элементов.
Ускоренный поток электронов, вылетающих из электронной пушки, фокусируется линзами в пучок диаметром 0,1 мкм падающий на поверхность полированного образца. Микроскоп позволяет направить электронный пучок в заданную точку на поверхности образца. Из этой точки испускается рентгеновское излучение, при помощи рентгеновских спектрометров измеряют длины волн и интенсивность излучения, определяют вид и концентрацию элементов в анализируемом микрообъеме.
Результаты микрозондового анализа немет.вкл. используют для оценки загрязненности стали при производстве металлокорда. Результаты микрозондового анализа химического состава включений наносят на треугольник составов SiO2-Al2O3-(CaO+MnO+MgO). Треугольник разбит на 3 области АВС причем области С соответствуют составы с сод. Al2O3 более 50% т.е. наиболее труднодеформируемые включения.