2020-04-20
103
Тонкоплівкові резистори є елементами гібридних тонкоплівкових мікросхем, а також погоджують елементами в микросборках, де вони присутні у вигляді резистивних матриць (резистивних "збірок") на окремій мініатюрної підкладці, що представляє собою компонент мікроскладені. В обох випадках резистори виготовляються на основі загальної резистивної плівки одночасно, тобто за інтегральною технологією.
Для осадження тонких резистивних плівок використовують стандартні резистивні сплави у вигляді порошків (для термовакуумного напилювання) або дисків-мішеней (для розпилення іонним бомбардуванням). Сплави являють собою силіциди хрому, нікелю, заліза і подвійні або потрійні системи на їх основі. Зміст кремнію від 15 до 95% забезпечує широкий діапазон питомих опорів. Конкретні марки резистивних сплавів характеризуються рекомендованими значеннями питомого поверхневого опору Rсл [Ом] допустимої питомою потужністю розсіювання Р0 [Вт/см2] температурним коефіцієнтом опору на [K-1] і коефіцієнтом старіння Gст. Параметри деяких сплавів для отримання тонкоплівкових резисторів наведено в табл. 3.1.
|
|
|
Таблиця 3.1 - Електрофізичні властивості резистивних металлосіліцідних сплавів
| Марка сплаву | 
| 
| 
| Незворотні зміни за 1000год. При 85С при навантаженні 1 
|
| PC5006 | 3-20 | 0,5 | 5 | 0,02 |
| PC5402 | 5-100 | 0,5 | 2 | 0,01 |
| PC5406K | 10-500 | 0,5 | 2 | 0,01 |
| PC5406H | 50-500 | 0,3 | 2 | 0,01 |
| PC3710 | 50-3000 | 1 | 5 | 0,005 |
| PC4800 | 100-1000 | 2 | 5 | 0,01 |
| PC1714 | 300-500 | 2 | 5 | 0,01 |
| PC4206 | 1000 | 0,5 | 2 | 0,005 |
| PC4400 | 1000-5000 | 3 | 10 | - |
| PC1004 | 3000-50000 | 15 | 5 | 0,02 |
| PC2310 | 10000-80000 | 12 | 5 | 0,02 |
| PC2005 | 80000-500000 | 12 | 5 | 0,02 |
