Компоненты нано- и микросистемной техники

Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах

Акселерометры на поверхностных акустических волнах (ПАВ) представляют собой перспективный класс микроакселерометров фазового и особенно частотного типа, позволяющих реализовать высокий уровень конструктивной интеграции, обеспечить высокую устойчивость к внешним возмущениям, возможность существенного сокращения числа деталей и соединений между ними. Они обеспечивают возможность перекрытия без компенсации широкого рабочего диапазона (до 10⁵ g) при частотной форме выходного сигнала.

Датчики механических величин на ПАВ обычно имеют чувствительные элементы с дифференциальным включением ПАВ - преобразователей. Для получения дифференциальной схемы традиционно используется размещение  ПАВ - преобразователей на двух параллельных плоскостях подложки, чтобы преобразователи изменяли свои параметры в равной степени, но с противоположными знаками. Эта конструкция приводит к серьезному усложнению процесса изготовления. В данной статье рассматривается датчик с                         ПАВ - преобразователями, расположенными на одной рабочей плоскости подложки, что обеспечивает простую в технологическом отношении конструкцию. В этом случае один из ПАВ - преобразователей размещается в зоне, свободной от деформаций.