Методы измерения параметров контакта

Основными параметрами контакта металл–полупроводник являются высота барьера φ_В, коэффициент идеальности n и пробивное напряжение. Последний параметр легко определяется путем анализа ВАХ контакта (см. рис. 2.4). Для определения φ_В и n существуют различные методы. Рассмотрим основные из них.

Рис. 2.4. Вольт-амперная характеристика контакта Шоттки

Метод вольт-амперных характеристик

Исходя из того, что

, (2.5)

где S – площадь контакта;

I ₀ – ток насыщения.

Для определения I ₀ поступают следующим образом. Строят по точкам зависимость ln I = f (U). Экстраполируя линейный участок ВАХ контакта при U = 0, находим I ₀ (рис. 2.5). Из наклона этой прямой определяем коэффициент идеальности по формуле

. (2.6)

Рис. 2.5. Метод вольт-амперных характеристик

Метод вольт-фарадных характеристик

Сущность этого метода заключается в отыскании зависимости емкости конденсатора от величины обратного напряжения. Эта зависимость представляет собой прямую линию, пересекающую ось напряжений в точке (– U) (рис. 2.6).