2020-06-30
321
Источник питания магнетрона мощностью 10 кВт снабжён бесступенчатой регулировкой тока в диапазоне до 20 А. Напряжение холостого хода источника составляет 1000 В. Рабочее напряжение зависит от геометрии мишени, магнитной системы и материала мишени. Используется алюминиевая мишень размером 520 на 145 мм. Область распыления мишени ~120 на 480 мм. На рисунке 2.4 изображен общий вид магнетрона.
1 – магнитопровод, 2 – экран, 3 – ввод газа, 4 – штуцер, 5 – катод, 6 – мишень
Рисунок 4 – Общий вид магнетрона
Поворотный вал стола (рисунок 2.6) приводит в движение электромеханический привод (рисунок 2.5), состоящий из электродвигателя постоянного тока 1 и червячного редуктора 2, соединенных между собой муфтой 3. Электродвигатель позволяет изменять число оборотов и направление вращения. Вращение на вал от редуктора передается через шестерни с помощью шлицевого соединения. Вал выполнен токоподводящим. Подвод тока осуществляется через электромагнитные щетки. Вал с подшипниками устанавливается в корпусе, который крепится через электроизолированный материал по дну рабочей камеры с наружной стороны.
1 – электродвигатель; 2 – редуктор; 3 – муфта
Рисунок 5– Электромеханический привод
1 – вал; 2 – изолятор; 3 – колесо зубчатое;4 – опорная конструкция;
5 – сосок для подвода (отвода) воды; 6 – щетка электромагнитная;
7 – подшипник.
