Рисунок 2 – Основные узлы установки ННВ-6,6-И1

Лабораторная работа №1

 

Цель работы: Изучить назначение и принцип работы вакуумной установки ННВ-6.6-И1. Схематически изобразить вид основных узлов установки.

Теоретическая часть

Назначение и устройство вакуумной установки ННВ‑6,6‑И1

Вакуумная установка ННВ‑6,6‑И1 применяется для нанесения одно- и многослойных покрытий различного функционального назначения на изделия широкой номенклатуры диаметром до 200 мм и длиной до 250 мм методом магнетронного распыления (рисунок 2.1).

 

Рисунок 1 – Общий вид установки ННВ-6,6-И1

 

Установка предназначена для эксплуатации в районах с умеренным климатом в следующих условиях (согласно ГОСТ 15150-69 для исполнения УХЛ категории 4):

– атмосферное давление 960 – 1040 кПа;

– температура окружающей среды +1 … +35 °С;

– влажность окружающей среды (при максимальной температуре) 0 – 80%.

Среда, окружающая установку, не взрывоопасная, не содержащая пыли, в том числе токопроводящей, в количестве, нарушающем работу установки, а также агрессивных газов и паров в концентрациях, разрушающих металлы и изоляцию.

Установка должна эксплуатироваться в стационарных условиях на производствах категории Д по противопожарным требованиям Строительных норм и правил (СНиП) [12].

Технические характеристики установки:

– размеры рабочей камеры Æ600 ´600 мм;

– максимальная нагрузка на шпиндель (вал) 92 кг;

– максимальная допустимая нагрузка на ось сателлита механизма вращения 8 кг;

– диапазон плавного регулирования частоты вращения стола 0,5–12 об/мин;

– номинальный ток высоковольтного источника питания подложки 20 А;

– диапазон плавного регулирования напряжения высоковольтного источника питания подложки 100–1500 В;

– напряжение питающей сети 380±19/220±11 В;

– остаточное давление в камере 6,65·10^-3–6,65·10^-1 Па;

– расход охлаждающей воды 2 м³/ч;

– масса установки, 3,1 т.

Установка ННВ-6,6-И1 состоит из следующих основных узлов: 1 – ускоритель вакуумно-дуговой, 2 – корпус, 3 – дверца, 4 – магнетрон, 5 – механизм вращения, 6 – основание (рисунок 2).

Рисунок 2 – Основные узлы установки ННВ-6,6-И1

Так же в состав основных узлов установки входит электрическая часть, система охлаждения и вакуумная система.

 Устройство и принцип действия основных узлов установки

Корпус выполнен в виде вертикального цилиндрического сосуда с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения. На боковой стенке корпуса имеются два фланца установки вакуумно-дуговых испарителей.

На нижней полости корпуса имеется фланец для установки механизма вращения.

На корпусе имеются патрубки и фланцы для присоединения вакуумной системы, системы охлаждения (подогрева), вентиляции, подачи рабочего газа, и температурного реле. Дверца выполнена с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения. На дверце вакуумной камеры разработан и установлен магнетрон постоянного тока (рисунок 2.3).