Пример оформления статьи

 

УДК 621.382

Установка создания инжекционных режимов в МДП-приборах с наноразмерными диэлектрическими плёнками

Дмитриев В. Г., аспирант

Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана,

кафедра «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры»

Научный руководитель: Андреев В.В., д.т.н, профессор

Россия, 105005, г. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана

shakhnov@iu4.bmstu.ru

 

Ключевые слова: дефектность (unsoundness), контроль качества (quality management), МДП-приборы(QC, MIS device).

Аннотация: Разрабатываемая установка предназначена контроля качества, анализ дефектности и модификации наноразмерных диэлектрических слоев в нано- и микроэлектронике, микросистемной технике, проведение фундаментальных исследований процессов, протекающих в тонких плёнках диэлектриков…(10-12 строк).

В работе установка использует метод управ­ляемой токовой нагрузки, основанный на анализе временной зависимости напряжения на полупроводниковом приборе со структурой металл-диэлектрик-полупроводник (МДП-приборе) при подаче на него токового воздействия. Данный метод позволяет производить контроль дефектности изоляции и дефектности зарядовой стабильности без перекоммутации образца.

Установка создания инжекционных режимов в МДП-приборах позволит получать, следующие зависимости:

– вольт-амперные характеристики в линейных, в полулогарифмичечких координатах и координатах Фаулера-Нордгейма;

– гистограммы распределения МДП-структур по напряжению микропробоя;

– гистограммы распределения МДП-структур по заряду, инжектированному до пробоя;

– зависимости изменения напряжения на МДП-структуре от инжектированного заряда;

– зависимости заряда, захваченного в диэлектрике, от инжектированного заряда.

Структурная схема установки показана на рис. 1.

Установка может работать в режиме инжекционной модификации.

В состав установки входят: Устройство инжекции заряда (УИЗ); контактирующее устройство; ПЭВМ со специализированным программным обеспечением.

Рис. 1. Структурная схема установки создания инжекционных режимов в МДП-приборах с наноразмерными диэлектрическими плёнками

Характеристики составных элементов установки приведены в таблицах 1-2.

Таблица 1

Название таблицы 1

 

Название элемента	Характеристика	Назначение элемента

Таблица 2

Название таблицы 2

 

Название элемента	Характеристика	Назначение элемента

Список литературы

1. Баранов С.И. Синтез микропрограммных автоматов (граф-схема и автоматы). Л.: Энергия, Ленингр. отд-ие, 1979. 232 с.

2. Двоичный сумматор: А.с.2000498 РФ / Ю.К.Корнеев, С.В. Пискунов, С.Н. Сергеев. Заявл.18.12.00; опубл.20.03.99.Бюлл.№3.

3. Зернов А.Н. Планирование развития социального облика региона // Проблемы концентрации общественного производства в развитии производительных сил Нечерноземной зоны: Тез. докл. Всерос. конф. Саранск, 1977. С. 259-298.