2014-02-17
354
- подготовительные операции
- изготовление комплекта фотошаблонов
- изготовление подложки
- предварительная подготовка слитка
- разделение слитка на пластины
- формирование фасок
- шлифование пластин
- химическое травление пластин
- полировка и чистка пластин
- ультразвуковая очистка и кипячение в органических растворителях
и серной кислоте
- кипячение в азотной кислоте
- промывка в проточной деионизированной воде
- сушка на центрифуге
- кипячение в смеси азотной и соляной кислот (1:3)
- промывка в проточной деионизированной воде
- промывка в плавиковой кислоте
- промывка в проточной деионизированной воде
- кипячение в смеси гидроокиси аммиака, перекиси водорода и воды (2:2:1)
- промывка в деионизированной воде с помощью кистей
- сушка на центрифуге
- формирование структуры микросхемы
(планарная технология использует групповой метод обработки)
