Техника и технология электронно-лучевой обработки. Основные области применения в промышленности

Классификация электрофизических методов обработки,их особенности и достоинства.

Электрофизические— неразрушающие методы, основаны на перестройке внутренней структуры* материала в результате явлений пластической деформации или вязкого течения. Их преимуществами являются высокая производительность, вос­производимость и эффективность. Это обусловлено возможностью формообразования всего объема заготовки одновременно, много­кратным использованием рабочего инструмента и практической безотходностью процесса. Однако методы группы применяются преимущественно при обработке вязкотекучих и пластичных материалов и не под­ходят для обработки хрупких материалов и полупроводников, так как в результате такой обработки существенно нарушается структура исходного материала.

25. Основы электроэрозионной обработки, варианты её релизации

Электроэрозионный метод основан на физическом явлении, при котором оба электрода разрушаются под действием происходящего между ними электрического разряда. При этом на их поверхности образуются лунки. Они возникают в результате локального разогревания материала электродов до температуры, намного превыщ_а10 температуру их испарения. Основными разновидностями электроэрозионных методов являются: электроискровой, электроимпульсный и высокочастотна электроимпульсный. Электроэрозионная обработка широко используется для уточ­нения и легирования поверхности, изготовления пресс-форм не­большого размера из сталей и твердых сплавов, сеток, волноводов гребенок и других деталей радиоэлектронной промышленности' для прошивания отверстий и систем отверстий, в том числе и криволинейных, в труднообрабатываемых материалах (минимальный диаметр ОД мм), для маркировки деталей и т.д.

Электронно-лучевой метод размерной обработки основан на термических эффектах взаимодействия ускоренных электро­нов с твердым телом. Электронно-лучевой нагрев отличается от других видов нагрева в вакууме высокой удельной мощностью выделяемой в материале, универсальностью, высоким КПД. Основными видами размерной работки материалов, применяемых в техно­логии, являются следующие:

Получение отверстий в твердых материалах - алмазе, ру-

бине,сапфире,испольуемых вкачестве волок для изготовления

микропроволоок подшипников в приборах точного времени.

. Прошивание отверстий в металлах, стекле, керамике, синте­тических материалах для фильтров зонной очистки» сеток трафа­ретной печати, а также звукопоглощающих и охлаждающих эле­ментов.

Гравировка с целью выполнения токоведущих дорожек на керамике или сложных полупроводниках.

Фрезерование металлов, графита, стекла, керамики, синте­тических материалов

Разделение полупроводниковых, диэлектрических подложек микросхем на отдельные кристаллы' и платы

Легирование полупроводников вплавлением примеси для изготовления полупроводниковых приборов