Общие сведения об интегральных микросхемах
Развитие радиоэлектроники, усложнение радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), повышение требований к ней привели к необходимости использования очень большого числа элементов для изготовления аппаратуры. В частности, особенно много их требовалось для электронно-вычислительных машин. Создание таких машин, да и многих других типов РЭА из дискретных элементов, т. е. элементов, представляющих собой самостоятельные изделия (диоды, транзисторы, резисторы, конденсаторы и др.), стадо практически невозможным. Подобные ЭВМ и другие сложные типы РЭА создаются в настоящее время на основе микроэлектроники – с применением интегральных микросхем, называемых короче просто интегральными схемами (ИС) или микросхемами.
Переход к микроэлектронике произошел постепенно. Сначала в РЭА на дискретных элементах стали применять вместо старого навесного (объемного)монтажа печатные схемы.Они представляли собой нанесенные на платы из диэлектрика соединительные провода в виде металлических пленок, к которым припаивались дискретные элементы.
Далее стали конструировать РЭА из модулей и микромодулей–смонтированных в миниатюрных корпусах устройств (усилители, генераторы, различные преобразователи и др.). Микромодули можно быстро заменять в случае отказа. Специально для таких микромодулей были разработаны миниатюрные диоды, транзисторы, резисторы, конденсаторы, катушки и другие элементы. В некоторых типах микромодулей использовались миниатюрные печатные схемы. Однако и микромодули не дали полного решения проблемы.
Огромный шаг вперед в создании сложнейших типов РЭА позволили сделать интегральные микросхемы. Интегральными они названы потому, что здесь все элементы или часть их и соединения между элементами нераздельно связаны и схема рассматривается как единое целое.
Основные типы микросхем – пленоч н ые, в которых элементы и соединения выполняются в виде различных пленок (проводящие, резистивные и диэлектрические) на подложке из диэлектрика, и полупроводниковые, элементы которых выполнены внутри и на поверхности полупроводниковой подложки, называемой кристаллом. Применяются еще и так называемые гибридные микросхемы, у которых часть элементов дискретные. Эти элементы называются компонентами.
Главные достоинства ИС – малые размеры и масса, малая потребляемая мощность, высокая надежностьза счет уменьшения числа паяных соединений, высокое быстродействие, так как при очень коротких соединительных линиях между элементами время пробега сигналов по этим линиям уменьшается, относительно низкая стоимость.
Наряду с большими достоинствами ИС имеют и некоторые недостатки. Прежде всего они являются маломощными. Устройства повышенной мощности на ИС сделать пока весьма трудно. Трудности возникают также при создании больших емкостей и индуктивностей. Соединения между микросхемами делаются по старым принципам, занимают значительный объем и снижают надежность.
По числу элементов (степени интеграции) ИС подразделяются на несколько типов. ПростыеИС имеют не более 10 элементов. В среднихИС число элементов от 10 до 100. БольшиеИС, или БИС, имеют от 100 до 1000 элементов. И сверхбольшиеИС, или СБИС, насчитывают более 1000 элементов.
По характеру выполняемых функций ИС делятся на цифровые и аналоговые. Цифровые ИС (триггеры, шифраторы, компараторы и др.), применяемые главным образом в электронно-вычислительной технике, характерны тем, что они работают в импульсном режиме и могут находиться в одном из двух резко различных состояний – согласно используемой в современных ЭВМ двоичной системе счисления (только две цифры – нуль и единица). Аналоговые ИС работают в таких режимах, когда изменения токов и напряжений происходят непрерывно по тому или иному закону, например по синусоидальному. К аналоговым схемам относятся усилители, генераторы, различные преобразователи сигналов и др.
В БИС и СБИС при большом числе элементов применяются многослойные (многоуровневые) структуры с несколькими подложками, расположенными параллельно друг другу в несколько этажей. Если очень много элементов ИС размещено даже на одной подложке, то межэлементные соединения, называемые кратко межсоединениями, также располагаются на разных уровнях, разделяемых диэлектрическими пленками. Такая система межсоединений называется многоуровневой или многослойной разводкой.
Пленочные ИС имеют подложку (плату) из диэлектрика (стекло, керамика и др.). Пассивные элементы, т. е. резисторы, конденсаторы, катушки и соединения между элементами, выполняются в виде различных пленок, нанесенных на подложку. Активные элементы (диоды, транзисторы) не делаются пленочными, так как не удалось добиться их хорошего качества. Таким образом, пленочные ИС содержат только пассивные элементы и представляют собой RC -цепи (например, RC -фильтры) или какие-либо другие схемы.
Принято различать ИС тонкопленочные, у которых толщина пленок не более 2 мкм, и толстопленочные, у которых толщина пленок значительно больше. Разница между этими ИС заключается не столько в толщине пленок, сколько в различной технологии их нанесения.
Подложки представляют собой диэлектрические пластинки толщиной 0,5 – 1,0 мм, тщательно отшлифованные и отполированные. При изготовлении пленочных резисторов на подложку наносят резистивные пленки. Если сопротивление резистора не должно быть очень большим, то пленка делается из сплава высокого сопротивления, например из нихрома. А для резисторов высокого сопротивления применяется смесь металла с керамикой, получившая название кермет. На концах резистивной пленки делаются выводы в виде металлических пленок, которые вместе с тем являются линиями, соединяющими резистор с другими элементами. Сопротивление пленочного резистора зависит от толщины и ширины пленки, ее длины и материала. Для увеличения сопротивления делают пленочные резисторы зигзагообразной формы. На рис.1 показана структура пленочного резистора, пленочного конденсатора и пленочной катушки.
а в б в
Рис.1. а – пленочный резистор (1 – резистивная пленка; 2 – вывод; 3 – подложка), б – пленочный конденсатор, в – пленочная катушка
Тонкопленочные резисторы по точности и стабильности лучше толстопленочных, но производство их сложнее и дороже. У тонкопленочных резисторов удельное сопротивление может быть от 10 до 300 Ом/□ и номиналы – от 10 до 106 Ом. Удельное сопротивление пленочных резисторов выражают в особых единицах – омах на квадрат (Ом/□), так как сопротивление данной пленки в форме квадрата не зависит от размеров этого квадрата. Действительно, если сделать сторону квадрата, например, в два раза больше, то длина пути тока увеличится вдвое, но и площадь поперечного сечения пленки для тока также возрастет вдвое; следовательно, сопротивление останется без изменения. Температуростабильность тонкопленочных резисторов характеризуется значением ТКС примерно 0,25×10-4 К – 1 . В течение длительного времени эксплуатации сопротивление этих резисторов мало изменяется.
Толстопленочные резисторы имеют удельное сопротивление от 5 Ом до 1 МОм на квадрат, номиналы от 0,5 до 5 × 108 Ом, точность без подгонки ±15%, а с подгонкой ±0,2%, ТКС примерно 2×10 – 4 К–1. Их стабильность во времени хуже, чем у тонкопленочных резисторов.
Пленочные конденсаторы чаще всего делаются только с двумя обкладками. Одна из них наносится на подложку и продолжается в виде соединительной линии, затем на нее наносится диэлектрическая пленка, а сверху располагается вторая обкладка, также переходящая в соединительную линию (рис.2). В зависимости от толщины диэлектрика конденсаторы бывают тонко- и толстопленочными. Диэлектриком обычно служат оксиды кремния, алюминия или титана. Удельная емкость может быть от десятков до тысяч пикофарад на квадратный миллиметр, и соответственно этому при площади конденсатора в 25 мм2 достигаются номинальные емкости от сотен до десятков тысяч пикофарад. ТКЕ получается равным (0,05 – 0,2) ×10-4 К-1.
Пленочные катушки делаются в виде плоских спиралей, чаще всего прямоугольной формы (рис.3). Ширина проводящих полосок и просветов между ними обычно составляет несколько десятков микрометров. Тогда получается удельная индуктивность 10 – 20 мГн/мм2. На площади 25 мм2 можно получить индуктивность до 0,5 мкГн. Обычно такие катушки делаются с индуктивностью не более нескольких микрогенри. Увеличить индуктивность можно нанесением на катушку ферромагнитной пленки, которая будет выполнять роль сердечника. Некоторые трудности возникают при устройстве вывода от внутреннего конца пленочной катушки. Приходится для этого наносить на соответствующее место катушки диэлектрическую пленку, а затем поверх этой пленки наносить металлическую пленку – вывод.
Широкое распространение получили гибридные ИС, в которых пассивные элементы – пленочные, а активные элементы (диоды, транзисторы) – навесные. Навесными элементами в микроэлектронике называют миниатюрные, обычно бескорпусные диоды и транзисторы, представляющие собой самостоятельны элементы, которые приклеиваются («навешиваются») в соответствующих местах к подложке и соединяются тонкими проводниками с пленочными элементами схемы. Иногда в гибридных ИС навесными могут быть и некоторые пассивные элементы, например миниатюрные конденсаторы с такой большой емкостью или катушки с такой индуктивностью, что их невозможно осуществить в виде пленок. Это могут быть и миниатюрные трансформаторы. В некоторых случаях в гибридных ИС навесными являются целые полупроводниковые ИС.
Гибридная ИС, состоящая из конденсатора, транзистора и резистора, показана на рис.2. Проводники от транзистора или от других навесных элементов присоединяются к соответствующим точкам схемы чаще всего методом термокомпрессии (провод при высокой температуре прижимается под большим давлением).
а б
Рис.2. Структура (а) и электрическая схема (б) гибридной интегральной микросхемы
Гибридные ИС изготовляются следующим образом. Сначала делается подложка. Ее тщательно шлифуют и полируют. Затем наносятся резистивные пленки, далее нижние обкладки конденсаторов, катушки и соединительные линии, после этого диэлектрические пленки, а затем снова металлические. Навешиваются (приклеиваются) активные и другие дискретные элементы, и их выводы присоединяются к соответствующим точкам схемы. Схема помещается в корпус и присоединяется к контактным штырькам корпуса. Производится испытание схемы. Далее корпус герметизируется и маркируется, т. е. на нем делаются необходимые условные обозначения.
Разновидность гибридных БИС – так называемые микросборки. Обычно в их составе различные элементы, компоненты и интегральные схемы. Особенность микросборок состоит в том, что они являются изделиями частного применения, т. е. изготовляются для конкретного типа аппаратуры. А обычные БИС представляют собой изделия общего применения, пригодные для различных видов аппаратуры. Иногда микросборками также называют наборы нескольких активных или пассивных элементов, находящихся в одном корпусе и имеющих самостоятельные выводы. Иначе эти наборы еще называют матрицами.