2014-02-09
363
Рассмотрим этот случай на примере двух полубесконечных тел, имеющих контакт по плоскости. Одно из них содержит примесь в концентрации No1. Для гетерогенной системы используется понятие коэффициента распределения примесей (С), характеризующего отношение концентраций примеси на плоскости контакта тел (рис. 3.8).
(3.39)
|
| Рис. 3.8. Диффузии в гетерогенной системе |
При этом выполняется условие равенства потоков по обе стороны границы раздела тел. Если бы профили распределения в обоих телах описывались erfc -функциями, то это второе условие согласно формуле (3.26), записывалось бы в форме:
(3.40)
Из уравнений (3.39) и (3.40) можно найти 
, 
и получить окончательные выражения для профилей распределения примесей:
; (3.41)
; (3.41)
(3.42)
Предположение о том, что профили распределения примесей описываются erfc -функциями, подтверждается более аккуратными расчетами. Эта ситуация достаточно типична для случаев легирования полупроводника из нанесенного на ее поверхность слоя.
