Идеальный МОП-конденсатор имеет слой оксида SiO2 толщиной 0,1 мкм и подложку из кремния p-типа с концентрацией акцепторов 1016 см3. Вычислите удельную емкость в случаях: а) U з = 2 В; f = 1 Гц; б) U з = 20 В; f = 1 Гц; в) U з = 20 В; f = 1 МГц.
Исходные данные: ; ;
Решение:
а) U пор = 2 UF – QB / C 0;
U Si = U п = 2U F = U тln(Nа / ni) = 0,672 B;
Кл/см2;
В.
При U з = +2 В < U пор МОП-конденсатор работает в режиме обеднения. Удельная емкость
б) При U з = +20 В и частота f = 1 МГц, то удельная емкость равна удельной емкости при пороговом напряжении:
Ф/см2.