Из термодинамики известно, что если испарение какого-либо вещества происходит в замкнутом пространстве, в котором поддерживается определенная температура, то по истечении достаточного промежутка времени наступает состояние насыщения, т.е. устанавливается постоянное равновесное давление пара, несмотря на продолжающееся испарение. Насыщение наступает по той причине, что в процессе испарения с возрастанием плотности пара возрастает и количество обратно конденсирующихся молекул (атомов) пара. В момент, когда количество молекул, конденсирующихся в единицу времени, сравнивается с количеством молекул, испаряющихся за то же время, устанавливается постоянная плотность, а поскольку температура поддерживается постоянной, устанавливается и постоянное давление насыщенного пара.
Источниками паров в вакуумных системах могут быть жидкости (ртуть, масло, вода) и многие твердые вещества, применяемые в качестве смазок, уплотнителей, покрытий.
Все эти жидкости и твердые вещества при определенных температурах имеют определенные давления насыщенных паров.
|
|
Таблица 2.2 дает представление о давлении насыщенных паров некоторых веществ, применяемых в вакуумной технике.
Таблица 2.2
Давление насыщенного пара веществ, применяемых в вакуумной технике
№ п/п | Вещество или материал | Давление насыщенного пара при 200С | |
Па | мм рт.ст. | ||
Вода | 2,333 | 17,5 | |
Ртуть | 1,6·10-1 | 1,2·10-3 | |
Масла для механических масляных насосов | 1…10-3 | 10-2…10-5 | |
Смазки, уплотнители | 10-1…10-8 | 10-3…10-10 | |
Стекло | 10-13…10-23 | 10-15…10-25 |