Герметичность вакуумных систем

Герметичность вакуумной системы – это свойство всех ее элементов и их соединений обеспечивать минимальное проникновение (натекание) газа через них.

Обычно натекание газа происходит через все места нарушения герметичности (поры или трещины в материале), называемые течами.

Для наблюдения за натеканием в простейшем случае необходимо, чтобы вакуумная система была снабжена манометрическим преобразователем (вакуумметром) и вентилем, которым может изолировать систему от насоса.

Допустимый газовый поток, поступающий через все течи, определяется по формуле:

Q_н ≤ 0,1·р_раб·S_эф,

где S_эф – эффективная быстрота откачки объекта, т.е. S_эф= м³/с; р_раб – рабочее давление, Па.

Приборы, специально сконструированные для обнаружения мест, получили название течеискателей.

Для определения места течей разработаны следующие методы течеискания, которые представлены в таблице 12.1.

Таблица 12.1

Значения максимально определяемой течи для различных методов течеискания

№ п/п	Методы течеискания	Сущность метода	Значение максимально определяемой течи, м³·Па/с
	Опрессовка (пробный газ)	Испытуемый элемент обдувается пробным газом, который вместо воздуха начинает поступать в этот объект. Изменение состава остаточных газов в вакуумной системе регистрируется с помощью масспектрометра, настроенного на пробный газ	1·10^-4
	Люминесцентный	Способ обнаружения течи основан на способности люминесцирующих веществ, протекающих через течь, светиться под действием ультрафиолетового облучения	1·10^-6…1·10^-7
	Искровой (высокочастотный разряд)	При приближении электрода высокочастотного трансформатора к месту течи образуется направленный разряд. Появление разряда связано с понижением давления воздуха в месте течи и улучшением условий электрического пробоя газового промежутка	1·10^-2
	Галогенный	Принцип действия основан на изменении эмиссии электронов нагреваемой металлической поверхностью при попадании на нее пробного вещества, содержащего галогены, т.е. химические элементы F, Cl, Br, J.	1·10^-6…1·10^-7