2015-01-21
518
Применение в последнем случае съемных кассет облегчает групповую загрузку и выгрузку пластин.
В узлах обработки большинства известных конструкций центрифуг применяются форсунки, подающие распыленную струю реактива или деионизованной воды к обрабатываемым пластинам (рисунок ниже, а), возможно также применение специальных штуцеров для подачи инертного газа, ускоряющего сушку пластин.
Для интенсификации удаления с поверхности пластин загрязнений используют щетки различных типов: вращающиеся цилиндрические (капроновые или колонковые) (рисунок ниже, б), неподвижные плоские капроновые (рисунок ниже, в), торцевые колонковые, совершающие планетарное движение по поверхности обрабатываемых пластин (рисунок ниже, г).
Комбинируя в различных сочетаниях типы приводов для вращения стола, конструкции узлов крепления пластин, а также конструкции узлов гидромеханического воздействия, можно получить машины различного назначения.
Наибольшее применение в отечественной практике и за рубежом нашли центрифуги с узлами обработки в виде форсунок, применяемые для отмывки поверхности пластин с последующей промывкой и сушкой центрифугированием, а также центрифуги с вращающимися цилиндрическими щетками. В последнем случае после очистки и промывки поверхностей пластин щетки отводятся, позволяя осуществить сушку центрифугированием.
Конструкция узлов обработки изделий:
а – струей жидкости:
