По конструктивному признаку, т. е. в зависимости от структурной схемы и устройства, оборудование для очистки можно разделить на установки и агрегаты.
Установки — машины с одной или несколькими камерами, рассчитанные на применение определенного способа обработки или способа интенсификации процесса. Операцию очистки в этом случае проводят, как правило, в один этап.
Схема двухкамерной противоточной установки травления показана на рисунке выше. Изделия 1 устройством для перемещения кассет 2 переносятся из ванны 3 в ванну 4. Реагент подается через патрубок 5 навстречу обрабатываемым изделиям.
Агрегаты — машины с несколькими камерами, рассчитанными на последовательное или последовательно-параллельное проведение очистки в несколько этапов, отличающихся устройством и способом обработки (рисунок ниже).
Схема агрегата очистки:
1 — камера ультразвукового (УЗ) обезжиривания; 2 — УЗ-излучатель; 3 — сливной вентиль; 4 — центрифуга, 5 — камера отмывки
Узлы крепления при односторонней обработке пластин 2 выполняют в виде вакуумных присосов 1 (рисунок ниже, а), установленных «а центрифуге 3, внутренняя полость которой соединена с вакуумной системой. В этом случае необрабатываемая сторона пластин надежно защищается от подтеков реактивов.
|
|
Конструкции узлов крепления пластин на столе
а — с вакуумными присосами:
1 — вакуумный присос; 2 — обрабатываемое изделие: 3 — съемная кассета; 4 —
стол;
Для случаев, когда нет необходимости в защите обратной стороны пластин, применяют подвижные прижимы, способные закрепить пластины различной формы и размеров (рисунок ниже б).
Конструкции узлов крепления пластин на столе
б —с прижимами:
1 — съемная кассета; 2 — обрабатываемое изделие; 3 — прижимы; 4 — фиксирующие палец; 5 — стол;
Под действием центробежных сил эти прижимы поджимают пластины к неподвижным упорам центрифуги. При выполнении в столе сквозных отверстий подвижные прижимы будут контактировать лишь с ребрами закрепляемых пластин, что позволит вести их двустороннюю обработку.
Выполнение опорных гнезд на столе центрифуги с наклоном к горизонтальной плоскости обеспечивает поджим пластин к плоскости стола и упорам за счет центробежных сил, действующих на пластины при вращении центрифуги. При этом на столах центрифуг могут устанавливаться кассеты 1, упорные штыри 5 которых совместно со штырями столов образуют гнезда для пластин (рисунок ниже,в).
Конструкции узлов крепления пластин на столе:
в —со штырями:
1 — съемная кассета; 2. — обрабатываемое изделие; 3 — фиксирующий палец; 4 — стол;