Схема вакуумной системы

1 – рабочий объем, 2 – затвор, 3 – ловушка, 4,7 – пароструйный и механический насосы, 5 – вакуумный вентиль, 8 – манометры (вакуумметры)

Для создания разрежения в вакуумной системе используются два последовательно включенных насоса: пароструйный (высоковакуумный) 4 и механический (форвакуумный) 7. Ловушки 3, устанавливаемые перед насосами, предохраняют рабочий объем 1 от попадания паров рабочего вещества насосов и улавливают газы, присутствие которых нежелательно. Ловушка перед механическим насосом, роме того, предохраняет насоса. Вакуумные вентили 5 и затвор 2 служат для соединения и разобщения элементов вакуумной системы и регулирования в ней газового потока. Трубопровод 6 с вентилем, соединяющий рабочий объем с механическим насосом, называют байпасной линией. Байпасная линия служит для предварительного создания низкого вакуума в рабочем объемен таким образом, чтобы исключить попадание газового потока в пароструйный насос. Манометры (вакуумметры) 8 предназначены для измерения вакуума, создаваемого как только механическим, так и одновременно механическим и пароструйным насосам.

Рассмотрим вакуумные механические вращательные насосы (пластинчато-роторный, пластинчато-статорный, плунжерный и турбомолекулярный), пароструйные (паромасляные диффузионные) и сорбционные (геттерные, геттерно-ионные и криогенные), а также вакуумные агрегаты на их основе.

Механические насосы. Основными характеристиками насосов являются предельное остаточное давление и быстрота действия. Принцип действия механических насосов основан на сжатии поступающего из откачиваемого объема газа и последующем его удалении в атмосферу.