ВЫПУСКНАЯ КВАЛИФИКАЦИОННАЯ РАБОТА БАКАЛАВРА
Исследование поверхностных дефектов в технологических слоях |
нитрида и оксида кремния на установке |
измерения дефектности пластин Surfscan 6220 |
Факультет радиотехники и электроники
Направление подготовки 210100 — электроника и микроэлектроника
Автор работы | М. Ю. Бакотин, гр. РЭ3-01 | ||
Руководитель работы | А. Б. Беркин, к.т.н., доцент | ||
Нормоконтроль | |||
Технический контроль | С. А. Чипурнов, к.т.н., доцент |
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ
ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ
ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
«Новосибирский государственный технический университет»
Кафедра электронных приборов
УТВЕРЖДАЮ | ||||
Заведующий кафедрой, д. т. н., профессор | ||||
В. К. Макуха | ||||
«» | 20 г. | |||
ЗАДАНИЕ
НА ВЫПУСКНУЮ КВАЛИФИКАЦИОННУЮ РАБОТУ БАКАЛАВРА
|
|
студенту(ке) | Бакотину М. Ю. | ||
группы | РЭ3-01 | факультета радиотехники и электроники. | |
Тема работы: | Исследование поверхностных дефектов в технологических |
слоях нитрида и оксида кремния на установке измерения | |
дефектности пластин SurfScan 6220 |
Исходные данные
Установка измерения дефектности пластин Surfscan 6220, нитрид кремния, |
оксид кремния |
Структурные части работы
Введение, актуальность темы, постановка задачи, планируемые эксперименты |
Обзор литературных источников |
Обобщение полученных результатов |
Заключение |
План-график выполнения работы
Номер этапа | Наименование этапа | Планируемые сроки выполнения |
Перевод документации | 1-3 | |
Настройка оборудования для работы с пластинами диаметром 100 мм. | 4-5 | |
Составление и выполнение маршрутной карты | 6-12 | |
Оформление пояснительной записки | 13-14 |
Задание согласовано и принято к исполнению.
Руководитель работы | А. Б. Беркин, к.т.н., доцент | ||
Задание принял к исполнению | М. Ю. Бакотин, гр. РЭ3-01 |
Тема утверждена приказом по НГТУ № _______ от «___» __________ 20___ г.
Дата представления работы к защите: «___» __________ 20___ г.
РЕФЕРАТ
Пояснительная записка 37 стр., 7 рис., 4 табл., 7 ист., 1 прил, _ стр. ил. мат.
SURFSCAN, ДЕФЕКТНОСТЬ, НИТРИД КРЕМНИЯ, ОКСИД КРЕМНИЯ, ЛАЗЕРНОЕ СКАНИРОВАНИЕ
Объектом исследования являются установка Surfscan 6220, технологические слои нитрида и оксида кремния.
Цель работы — освоение управления установкой контроля дефектности пластин Surfscan 6220 и демонстрация возможности её использования для исследования технологических слоёв нитрида кремния и оксида кремния.
|
|
Оглавление
Стр.
1 Введение. 6
2 Виды поверхностных загрязнений и дефектов. 9
3 Оптические методы контроля дефектности. 13
3.1 Визуально-оптический контроль. 13
3.2 Контроль методом лазерного сканирования. 14
4 Документация к Surfscan 6220. 16
4.1 Краткое описание установки. 16
4.2 Термины и определения. 17
5 Настройка программного обеспечения. 28
6 Исследование нитрида кремния и оксида кремния. 29
Заключение. 34
Список использованных источников. 35
Приложение А.. 36