На выпускную квалификационную работу бакалавра

ВЫПУСКНАЯ КВАЛИФИКАЦИОННАЯ РАБОТА БАКАЛАВРА

Исследование поверхностных дефектов в технологических слоях

нитрида и оксида кремния на установке

измерения дефектности пластин Surfscan 6220

Факультет радиотехники и электроники

Направление подготовки 210100 — электроника и микроэлектроника

Автор работы			М. Ю. Бакотин, гр. РЭ3-01

Руководитель работы			А. Б. Беркин, к.т.н., доцент

Нормоконтроль

Технический контроль			С. А. Чипурнов, к.т.н., доцент

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ
ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ

ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

«Новосибирский государственный технический университет»

Кафедра электронных приборов

	УТВЕРЖДАЮ
Заведующий кафедрой, д. т. н., профессор
	В. К. Макуха
«»		20 г.

ЗАДАНИЕ

НА ВЫПУСКНУЮ КВАЛИФИКАЦИОННУЮ РАБОТУ БАКАЛАВРА

студенту(ке)	Бакотину М. Ю.
группы	РЭ3-01	факультета радиотехники и электроники.

Тема работы:	Исследование поверхностных дефектов в технологических
слоях нитрида и оксида кремния на установке измерения
дефектности пластин SurfScan 6220

Исходные данные

Установка измерения дефектности пластин Surfscan 6220, нитрид кремния,

оксид кремния

Структурные части работы

Введение, актуальность темы, постановка задачи, планируемые эксперименты

Обзор литературных источников

Обобщение полученных результатов

Заключение

План-график выполнения работы

Номер этапа	Наименование этапа	Планируемые сроки выполнения
	Перевод документации	1-3
	Настройка оборудования для работы с пластинами диаметром 100 мм.	4-5
	Составление и выполнение маршрутной карты	6-12
	Оформление пояснительной записки	13-14

Задание согласовано и принято к исполнению.

Руководитель работы			А. Б. Беркин, к.т.н., доцент

Задание принял к исполнению			М. Ю. Бакотин, гр. РЭ3-01

Тема утверждена приказом по НГТУ № _______ от «___» __________ 20___ г.

Дата представления работы к защите: «___» __________ 20___ г.

РЕФЕРАТ

Пояснительная записка 37 стр., 7 рис., 4 табл., 7 ист., 1 прил, _ стр. ил. мат.

SURFSCAN, ДЕФЕКТНОСТЬ, НИТРИД КРЕМНИЯ, ОКСИД КРЕМНИЯ, ЛАЗЕРНОЕ СКАНИРОВАНИЕ

Объектом исследования являются установка Surfscan 6220, технологические слои нитрида и оксида кремния.

Цель работы — освоение управления установкой контроля дефектности пластин Surfscan 6220 и демонстрация возможности её использования для исследования технологических слоёв нитрида кремния и оксида кремния.

Оглавление

Стр.

1 Введение. 6

2 Виды поверхностных загрязнений и дефектов. 9

3 Оптические методы контроля дефектности. 13

3.1 Визуально-оптический контроль. 13

3.2 Контроль методом лазерного сканирования. 14

4 Документация к Surfscan 6220. 16

4.1 Краткое описание установки. 16

4.2 Термины и определения. 17

5 Настройка программного обеспечения. 28

6 Исследование нитрида кремния и оксида кремния. 29